六氟化鎢傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，可用于半導(dǎo)體沉積和清洗工藝的端點檢測、腔室清理終端檢測,能夠減少清潔時間,節(jié)約成本,提高產(chǎn)量。

產(chǎn)品型號：

更新時間：2026-02-04

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

訪問量：1378

產(chǎn)品咨詢 13296672587

產(chǎn)品分類

PRODUCT CLASSIFICATION

氣體傳感器

PM2.5傳感器甲醛傳感器空氣質(zhì)量檢測儀冷媒傳感器油煙傳感器船用激光甲烷傳感器揚塵檢測儀呼氣末CO2模塊電池?zé)崾Э乇O(jiān)測傳感器二氧化碳傳感器

查看全部產(chǎn)品

高精度粒子計數(shù)器在顯示面板潔凈室環(huán)境監(jiān)控中的關(guān)鍵作用

高精度長壽命紅外甲烷傳感器：守護(hù)家庭燃?xì)獍踩?/a>

破局大粒徑“監(jiān)測盲區(qū)”，為鋰電生產(chǎn)升級安全防線

詳細(xì)介紹在線留言

六氟化鎢傳感器傳感器是由四方光電自主研發(fā)的高性能氣體傳感器，產(chǎn)品基于非分光紅外技術(shù)(NDIR)，能夠精確測量半導(dǎo)體等應(yīng)用中產(chǎn)生的SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體，兼容機(jī)臺內(nèi)常見預(yù)留尺寸、法蘭和通訊協(xié)議，適合半導(dǎo)體行業(yè)化學(xué)沉積設(shè)備、原子層沉積設(shè)備腔室的清潔終點監(jiān)測。

六氟化鎢傳感器傳感器產(chǎn)品特性

使用NDIR技術(shù)，多氣體監(jiān)測支持(SiF4、WF6、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)

響應(yīng)時間快，高靈敏度

無耗材

模擬/數(shù)字通信

模塊化設(shè)計，便于集成

六氟化鎢傳感器傳感器技術(shù)參數(shù)